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Screw Roots vacuum pump

螺杆罗茨真空泵

干式螺杆真空系统

干式螺杆真空系统是由罗茨真空泵为主泵、螺杆真空泵为前级泵串联组成的无油真空机组,机组真空度高,工作压力范围宽,抽气效率高,机组整体箱式外包,且机组采用智能变频控制系统,起动快,能根据生产需求,实时精准调控机组性能,提高生产稳定性,满足高端客户的需求。机组所用真空泵均对少量粉尘不做感,在含少量粉尘的应用场合,具有明显的优势:机组所用电机均为水冷电机,散热效果好,并可避免电机风扇扬尘,特别适用于光伏太阳能行业的单品硅生产工艺,并能满足锂电、半导体、光伏、锂电新能源等行业的生产需求。

≤0.1Pa

高极限真空

1+1组合

螺杆+罗茨机组

30%

降低能耗

7X24小时

持续工作

技术参数

机组型号泵型号抽气速率
(L/s)
极限压力
(Pa)
进气口径
(mm)
排气口径
(mm)
冷却水量
(L/min)
重量
(kg)
电机功率(kW)
主泵前级泵主泵前级泵
LRLG150-2RLR150GLG701500.510040460037.5
LRLG150-3TLR150GLG50G1500.110040460034.5
LRLG220-3TLR220GLG65G2200.11504056503.54.5
LRLG220-4TLR220GLG50G2200.11504056503.54.5
LRLG300-5TLR400GLG50G4000.11454066504.54.5
LRLG400-6TLR400GLG65G4000.11454077004.57.5
LRLG1200-8TLR1200GLGB11012000.22504091250117.5