干式螺杆真空系统是由罗茨真空泵为主泵、螺杆真空泵为前级泵串联组成的无油真空机组,机组真空度高,工作压力范围宽,抽气效率高,机组整体箱式外包,且机组采用智能变频控制系统,起动快,能根据生产需求,实时精准调控机组性能,提高生产稳定性,满足高端客户的需求。机组所用真空泵均对少量粉尘不做感,在含少量粉尘的应用场合,具有明显的优势:机组所用电机均为水冷电机,散热效果好,并可避免电机风扇扬尘,特别适用于光伏太阳能行业的单品硅生产工艺,并能满足锂电、半导体、光伏、锂电新能源等行业的生产需求。
机组型号 | 泵型号 | 抽气速率 (L/s) | 极限压力 (Pa) | 进气口径 (mm) | 排气口径 (mm) | 冷却水量 (L/min) | 重量 (kg) | 电机功率(kW) | ||
主泵 | 前级泵 | 主泵 | 前级泵 | |||||||
LRLG150-2R | LR150G | LG70 | 150 | 0.5 | 100 | 40 | 4 | 600 | 3 | 7.5 |
LRLG150-3T | LR150G | LG50G | 150 | 0.1 | 100 | 40 | 4 | 600 | 3 | 4.5 |
LRLG220-3T | LR220G | LG65G | 220 | 0.1 | 150 | 40 | 5 | 650 | 3.5 | 4.5 |
LRLG220-4T | LR220G | LG50G | 220 | 0.1 | 150 | 40 | 5 | 650 | 3.5 | 4.5 |
LRLG300-5T | LR400G | LG50G | 400 | 0.1 | 145 | 40 | 6 | 650 | 4.5 | 4.5 |
LRLG400-6T | LR400G | LG65G | 400 | 0.1 | 145 | 40 | 7 | 700 | 4.5 | 7.5 |
LRLG1200-8T | LR1200G | LGB110 | 1200 | 0.2 | 250 | 40 | 9 | 1250 | 11 | 7.5 |