螺杆真空泵是20世纪90年代出现的一种比较理想的干式泵。其性能优势包括：

                    1. 工作室内无润滑油，可获得清洁的真空度。

                    2. 工作室内无油气污染，被抽气体，工艺气回收率高，尾气处理方便。同时也避免了油气、油烟等的排放，环境污染小。

                    3. 工作腔内无润滑油，避免了润滑油乳化变质而引起的运行故障，提高了系统的稳定性，减少了润滑油在泵内的损失。

                    4. 该泵适用范围广，泵的工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，能适应恶劣的工作环境。

                    5. 泵腔之内有间隙密封结构，对少量小颗粒粉尘不敏感，而且泵腔为直通式，无下方隔板结构，故粉尘不易沉积在泵腔内。可用于抽取易燃易爆气体使用时的防爆配置。

                    6. 泵工作时，泵腔之内温度可达100℃，使可凝性气体不易冷凝，且泵腔为直通式结构，排气口在泵腔底部，泵腔之内的杂物容易排出，故适宜抽取可凝性气体。

                    7. 泵可单独使用，也可与罗茨泵、分子泵等组合使用。组成无油真空机组，可作为机组的前级泵。单台泵的进气压力可在1帕至大气压范围之内正常工作，抽气效率高，可大大简化真空抽气系统。

                    8. 螺杆泵在工作时需要保持较高的温度，工作时泵外表面自然散热效率相对提高，冷却水与泵温差大，冷却效果好，泵的冷却水消耗量小，影响冷却水的低温要求。

                    9. 采用多级转子以螺旋方式直接串联的独特方法，消除了下方挡板的结构，不存在中间级吸排气过程。工作过程简单连续，效率高，泵运行稳定性高。

                   10. 泵腔之内零件有间隙密封，零件栋无接触摩擦，零件损失小，使用寿命长。同时，泵转速高，整机体积小。

                   11. 螺杆泵结构简单，零件种类和数量少，维修方便。

                   12. 启动快，启动电流小，启动时对电网冲击小，启动之后泵达到正常抽速，是本世纪生态环境保护的首选